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每日信息:中科飛測首臺晶圓平坦度測量設(shè)備出貨HBM客戶端

2025-11-22 11:08:55    來源:財聯(lián)社


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據(jù)中科飛測消息,近日,中科飛測首臺晶圓平坦度測量設(shè)備——GINKGOIFM-P300出貨HBM客戶端。GINKGOIFM-P300的成功推出,標(biāo)志著我國在該領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破,打破了國外廠商的長期壟斷,突破國內(nèi)設(shè)備對超高翹曲晶圓、低反射率晶圓的量測限制,同時支持鍵合后晶圓、化合物半導(dǎo)體襯底(SiC/GaAs)的全參數(shù)檢測。

關(guān)鍵詞: 晶圓 中科飛測 HBM GINKGOIFM 測量設(shè)備 設(shè)備 平坦 測量 客戶 突破

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